罗茨泵在较宽的压强范围内有较大的抽速；对被抽气体中含有的灰尘和水蒸气不敏感；振动小，转子动平衡条件较好，没有排气阀；驱动功率小，机械摩擦损失小；结构紧凑，占地面积小。广泛应用于真空镀膜、真空治金、真空热处理、真空浸渍、真空干燥、真空蒸馏、真空练泥、航空航天、多晶炉配套等新材料、新技术、新工艺的生产与研制中。
罗茨泵的工作原理介绍：
1：罗茨泵不能单独使用，它可与滑阀真空泵、螺杆真空泵、旋片真空泵、水环真空泵等前级泵组成真空机组使用，获得较好的真空，较高的抽气效率，较低的功耗。
2：泵腔内无需油润滑，所以不存在油蒸汽对系统造成污染，与螺杆真空泵组成的无油真空机组，可广泛应用于电子、医药、化工、食品、镀膜、冶金等领域。
罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。由于转子的不断旋转，被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内，再经排气口排出。由于吸气后v0空间是全封闭状态，所以，在泵腔内气体没有压缩和膨胀。罗茨泵的_真空除取决于泵本身结构和制造精度外，还取决于前级泵的_真空。为了提高泵的_真空度，可将罗茨泵串联使用。